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等离子体物理和成膜基础.pdf
头两章毫无意外介绍等离子体的一些基本概念，以后章节分别为：低温等离子体的发生，等离子体诊断，低温等离子体与成模，溅射淀积和离子镀，等离子体CVD和等离子体聚合...基本上是低温等离子体的应用
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